Produktionsanlagen in der Pharma- und der Lebensmittelindustrie bestehen aus verschiedensten Werkstoffen. Bei mechanischer Einwirkung kann Abrieb entstehen. Die entsprechenden Partikel können die Produkte verunreinigen. Abriebpartikel können im REM mit EDS auf ihre chemische Zusammensetzung analysiert werden, was über die Zuordnung zu Werkstoffen mit ähnlicher Zusammensetzung zur Ermittlung ihrer Herkunft beitragen kann.