Überlagerung von Morphologie oder Gefüge mit der Konzentration ausgewählter chemischer Elemente (Chrom in diesem Beispiel).
Wird der Elektronenstrahl während der chemischen Analyse über die Probenoberfläche gerastert, dann können sogenannte Elementverteilungsbilder hergestellt werden. Die chemische Information kann ortsaufgelöst als Elementintensität oder als Phasenzusammensetzung in jedem Punkt dargestellt werden.
Anhand von Elementintensitäten lassen sich leicht unterschiedliche Zusammensetzungen oder chemische Gradienten erfassen.
Punkte mit gleicher oder sehr ähnlicher Zusammensetzung könnten als Phasen definiert werden.
Die bildliche Darstellung dieser Information erlaubt eine aussagekräftige Charakterisierung von Gefügen oder inhomogen zusammengesetzten Feststoffen.